湿法刻蚀

湿法刻蚀采用化学溶液进行材料去除，具有选择比高、表面损伤小等优点。凯珀纳米提供硅、二氧化硅、氮化硅、金属等多种材料的湿法刻蚀服务，支持各向同性和各向异性刻蚀工艺。