MEMS 气体传感器

MEMS 气体传感器采用微加工技术制备，具有灵敏度高、响应速度快、功耗低等优点。凯珀纳米提供 MEMS 气体传感器的全流程流片服务，包括微热板制备、敏感材料涂覆、电极图形化、封装测试等。可检测 CO、NO2、H2、VOC 等多种气体。