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脑机接口柔性电极
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光刻对准工艺
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柔性电极

脑机接口应用柔性电极,PI 基底 + 光刻工艺,线宽可达 2μm

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工艺详情

柔性电极是脑机接口、神经科学研究的關鍵器件。凯珀纳米采用 PI(聚酰亚胺)基底材料,结合光刻和 lift-off 工艺,可制备线宽 2μm 的微电极阵列。工艺能力:电极阻抗 30-50kΩ,可定制多通道电极图案,支持金、铂、铱等多种电极材料。
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