镀膜

镀膜工艺是在基底表面沉积薄膜的关键技术。凯珀纳米提供 PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）等多种镀膜服务，可沉积金属（Al、Cu、Au、Ti 等）、介质（SiO2、Si3N4 等）薄膜，厚度范围 10nm-10μm。