CVD 真空镀膜设备
Parylene 派瑞林真空镀膜系统
Parylene 派瑞林涂层技术:
Parylene 是一种高性能的聚合物涂层材料,学名是聚对二甲苯, 通过一种独特的化学气相沉积(CVD)工艺涂覆在物体表面。这个过程在室温、真空环境下进行, 生成的薄膜具有高度的保形性(能均匀覆盖复杂形状、锐边、缝隙和针孔)、无针孔、透明、 生物相容性好、化学惰性强、优秀的电绝缘性和阻隔性能(防潮、防腐蚀气体、防盐雾等)。
广泛应用于多个行业,包括航空航天、半导体、新能源、国防军工、汽车、手机、新型显示、 电子元器件、光通讯、轨道交通、3C 数码及电子等领域。通过 Parylene 涂敷后的产品具有极高的 绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、 生物相容性等作用。
科研型与工业生产型
在真空腔体中集成等离子源
兼容超净间的系统设计
经过验证且具有完整可塑性的生产流程
可以提供从定制化的涂覆系统和量身定制的工艺开发,到全面的耗材、备件供应以及长期的技术支持服务
CVD 真空镀膜设备系列

KR400L(卧式一体机)
Horizontal All-in-one
卧式一体机设计,适合实验室和小批量生产

KR400HL(卧式两用机)
Horizontal Dual-purpose
卧式两用机,支持多种工艺模式

KR850HS(立式一体机)
Vertical All-in-one
立式一体机,节省空间,操作便捷

KR850HSU(嵌入式分体机)
Embedded Split-type
嵌入式分体设计,适合洁净室集成

KR350HS(立式一体机)
Vertical Compact
紧凑型立式设计,适合小型实验室
派瑞林 N 粉

高纯度 Parylene N 原料粉末,用于 CVD 真空镀膜工艺

