刻蚀

刻蚀服务是凯珀纳米的核心代工能力之一。采用先进的 ICP 和 RIE 设备，提供硅深刻蚀（Bosch 工艺）、介质刻蚀、金属刻蚀等服务，深宽比可达 20:1，侧壁垂直度>89 度，表面粗糙度 Ra<50nm。